Sensirion SFC5500/SFM5500 질량 유량 컨트롤러/계측기
Sensirion SFC5500/SFM5500 질량 유량 컨트롤러/계측기는 열 전달을 기반으로 하는 열량계 원리에 따라 가스 질량 유량을 측정하는 디지털 다중 가스 CMOSens®기반 장치입니다. 이 컨트롤러/계측기는 매우 매력적인 시스템 비용으로 속도, 정확성 및 반복도에 대해 최고의 등급을 달성합니다. 열 절연 멤브레인의 히터 소자와 업스트림 및 다운스트림에 위치한 두 개의 서모파일이 단일 실리콘 칩에 통합되어 있습니다. 가스 흐름이 존재할 경우 온도의 분포 상하 흐름이 방해받습니다. 그런 다음, 비대칭 값이 측정됩니다. 더 큰 채널 설계 덕분에 입자, 막힘 및 습기가 많은 가스에 대해 장치가 더욱 견고합니다. 콤팩트한 단일 칩 설계와 금속 부품 간의 장착 덕분에, CMOSens®기반 센서는 EMC (전자기 간섭) 에 대한 저항성도 매우 뛰어납니다.
완전히 보정된 유량 측정값은 증폭, A/D 변환, 디지털 선형화 및 센서 속도와 일치하는 온도 보정 기능과 함께 밀리초마다 제공할 수 있습니다. SFC5500 질량 유량 컨트롤러는 제로 드리프트 성능을 나타내고 주변 온도 및 압력 변화와 무관하게 실제 질량 유량을 제어합니다. 2개의 온도 센서의 특별한 배치, 온칩 온도 보상 및 잡음 소스의 최소화는 다양한 다이내믹 레인지에 걸친 반복 가능성과 정확도와 관련된 탁월한 성능을 가능하게 합니다.
특징
- 우수한 정확도 및 반복성(각각 0.8%, 0.1%의 설정점)
- 매우 넓은 제어 범위(1000:1 이상)
- 광범위한 커넥터 (예: Swagelok, Legris, Festo) 와 호환되는 G ¼″ 플랜지
- 여러 기체 보정 (공기, N2, O2, H2, He, CH4, N2O, Ar, CO2)
- 초고속 정착 시간 (<100ms)
- 온도 보상 출력이 있는 디지털 인터페이스
- NIST 추적 가능 보정
- MTBF(고장 간 평균 시간) 169년
- 현장에서 드리프트가 필요하지 않으며 다시 보정할 필요 없음
사양
- <100ms 일반 설정 시간
- 1000Hz 측정 주파수
- 1,000:1보다 우수한 제어 범위
- 1초 예열 시간
- 0~+50°C(+32~+122°F) 주변 작동 온도 범위
- 10bar/145psig 최대 입력 압력
- 5bar/73psig 최대 차동 압력
비디오
블록 선도
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게시일: 2021-05-03
| 갱신일: 2024-06-18