Sensirion SFM5500 질량 유량계
Sensirion SFM5500 질량 유량계는 100slm~50sccm의 풀 스케일 범위에서 다양한 보정 및 유량 범위를 제공하는 고정밀 센서입니다. Sensirion SFM5500 질량 유량계는 교환 가능한 푸시인 피팅과 디지털 인터페이스가 특징입니다. 이 질량 유량계는 Sensirion CMOSens® 기술을 활용하며, 고정밀 센서 소자와 최첨단 신호 처리 기능을 단일 칩에 결합하고 있습니다.
특징
- 10slm 최대 유량
- 우수한 정확성 및 반복성(설정값에 대해서 0.8%/0.1%)
- 0.1~100% 미만 풀 스케일 제어 및 측정 범위
- Swagelok, Legris, Festo를 포함한 다양한 커넥터와 호환되는 G ¼" 플랜지
- 여러 가스(공기, N2, O2, H2, He, CH4, N2O, Ar, CO2)에 대해 보정
- 온도 보상 출력이 있는 디지털 인터페이스
- 100ms 미만의 안정화 시간
- 최대 10바 압력 저항
- 169년 MTBF(고장간 평균 시간)
- 필드에서 드리프트가 필요하지 않고 다시 보정할 필요없음
- NIST 추적 가능 보정
애플리케이션
- 분석 계측
- 코팅/에칭 장비
- 의료 장비
- 공정 자동화
- 가스 혼합
관련 센서
Sensirion SFC5500/SFM5500 질량 유량 컨트롤러/계측기
CMOSens®기반 장치는 열 전달을 기반으로 열량 측정 원리로 가스 질량 유량을 측정합니다.
게시일: 2022-07-11
| 갱신일: 2024-05-08