TE Connectivity / Measurement Specialties 85UHP 압력 센서
TE Connectivity (TE)의 Measurement Specialties 85UHP 압력 센서는 실리콘 오일이 채워진 316 L 스테인리스강 또는 합금 C276 모듈에 통합된 MEMS 압전 저항 칩을 제공하며 전면의 얇은 골판 다이어프램에서 압력을 전달합니다. 미디어 호환, 용접 가능한 소형 프로파일은 TE 표준 85 ISO 캡슐보다 큰 반도체 애플리케이션 프로세스 기간 동안 OEM용으로 설계 및 제조되었습니다.
TE Connectivity (TE)의 Measurement Specialties 85UHP 압력 센서는 초고 순도 및 초고 진공 시나리오에 최적화된 습식 재료 옵션과 표면 견고성을 제공합니다. 이 장치는 TE의 고급 MEMS 기능을 활용하여 탁월한 정밀도와 안정성을 제공합니다.
특징
- 높은 진공 안정성
- F105 규격 준수 습식 표면(합금 C276 변형 제품)
- -40 °C ~ +125 °C의 작동 온도
- 최대 ±0.1% 압력 비선 형성
- 고체 상태 신뢰성
애플리케이션
- 가스 캐비닛
- 질량 유량 컨트롤러
- 고순도 가스 전달 시스템
- 압력 및 흐름 제어
- 반도체 공정
사양
- C276 또는 316 L SS 습식 표면 재료-옵션
- 보상 또는 비보상-옵션
- 10-3Pa에서 높은 진공 안정성
- 0.1% 범위/년 장기 안정성
- 절대 압력 측정
- 13 mm 다이어프램 직경
치수- 비보상
치수-정전류 보상
치수-정전압 보상
게시일: 2025-09-19
| 갱신일: 2026-03-03