Sensirion SFM3505 고성능 디지털 질량 유량계

Sensirion SFM3505 고성능 디지털 질량 유량계 AR 소형 가스 유량 센서는 소형 폼 팩터 내에서 초저 잡음, 탁월한 정확도 및 최소 압력 강하를 제공합니다. SFM3119 및 SFM3100의 성공을 기반으로 제작되는 SFM3505은 최소한의 저항으로 동급 최고의 성능을 달성하기 위해 완전히 재설계된 아키텍처를 도입합니다. 이 시리즈는 SFM3505-300 표준 정확도 변형 제품과 SFM3505-300-X 고정확도 변형 제품의 두 가지 변형 제품으로 제공됩니다.

Sensirion의 5세대 CMOSens^® 기술로 구동되는 SFM3505은 단일 마이크로칩에 감지 소자와 고급 신호 처리 기능을 통합하고 있습니다. 이 설계 장치는 표준 I²C 인터페이스를 통해 빠르고 안정적이며 완전히 보정된 디지털 출력을 보장합니다. 장기 사용을 위해 설계된 이 센서는 CMOSens 칩의 탁월한 안정성 덕분에 생산 또는 현장에서 추가 보정이 필요하지 않습니다.

공기 및 산소를 위해 보정된 SFM3505에는 다양한 조건에서 정밀한 측정을 위한 온칩 온도 보상 기능이 포함되어 있습니다. 이 유량계는 기계 환기, 마취 및 가스 혼합 시스템과 같은 애플리케이션에서 흡기 유량 측정에 이상적인 솔루션입니다.

특징

5-세대 CMOSens 기술을 기반으로 제작
단일 마이크로칩에서 센서 소자 및 고급 신호 처리
공기 및 산소 보정
높은 정확도
저잡음
낮은 압력 강하
인입 조건에 대한 의존 감소

I²C 인터페이스
온칩 온도 보상
추가 보정 불필요
콤팩트한 치수
ISO3601 클래스 B, 16.1 mm 내경 , 1.6 mm 와이어 직경에 따라 생산되는 흰색 O 링
RoHS 및 REACH 규격 준수

애플리케이션

기계 환기
마취

가스 혼합 시스템
높은 정확도와 높은 유량 애플리케이션

사양

-150slm~300slm 대기 및 O₂ 흐름 범위
센서 출력
- 공기 흐름:
- O₂ 흐름
최대 정확도
- ±3% M.V. 간격, SFM3505-300의 경우 ± 0.05slm 오프셋
- ±2% M.V. 간격, SFM3505-300의 경우 ± 0.05slm 오프셋
최대 잡음
- 1% m.v. 범위
- 0.01slm 오프셋
~ -20 °C +85 °C 이내의 온도로 25 °C 정확도 감소에서 10 °C에 따른 ± (0.03slm 또는 0.5%)
표준 압력 의존성
- 525hPA에서 -1.5% (절대값)
- 750hPA에서 -0.5% (절대값)
- 1400hPA에서 +0.7% (절대값)
- 1650hPA에서 +1 0% (절대값)
최대 압력 강하
- 60slm에서 85 Pa
- 100slm에서 200 Pa
- 200slm에서 750 Pa
유량 스텝 응답 시간: 3 ms
0.00004slm 분해능(24 비트)
공급 전압 범위
- 3.2 V ~ 3.4 V 작동
- -0.3 V(최소 ) ~ 5.5 V(최대) 절대

2.5 V 최대 작동 레벨
1.5 V 최소 정지 레벨
최대 공급 전류
- 10 mA 측정
- 0.6 mA 유휴 상태
3 mA 최소 SCL 및 SDA 싱크 전류 성능
최대 DRDY 구동 강도: 0.05 mA
표준 DRDY 내부 저항: 4 kΩ
2 ms 최대 작동 및 소프트 리셋 시간
4 ms 첫 번째 흐름 출력의 최대 시간 사용 가능
최대 예열 시간: 50 ms
1,000kHz 최대 I²C SCL 주파수
내부 유량 샘플링 레이트 범위: 3 880 Hz ~ 4 120 Hz
650hPa 게이지 최대 작동/허용 과압
1250hPa 게이지 최대 버스트 과압
작동 온도 범위: -20 °C~++85 °C
비응축 작동 습도
2 kV 최대 ESD 등급, IC 칩 레벨에서 테스트된 인체 모델(HBM)
미디어 호환성
- 호환 가스-공기, N₂, O₂, 기타 해롭지 않은 가스(비응축)
- 습식 재료 - PPE+PS 블렌드, Si, 유리(Si3N4, SiOx), 에폭시, FKM, 일반적으로 비침수, 금, FR4, 무연 납땜