KXTJ3 3축 디지털 가속도계

Kionix의 KXTJ3 3축 디지털 가속도계는 3축 ±2g, ±4g, ±8g 또는 ±16g 실리콘 가속도계로 생산됩니다. KXTJ3의 감지요소는 Kionix 고유의 플라스마 마이크로 가공 기술을 이용해 구성됩니다. 가속도는 가속으로 감지요소가 움직이면서 측정되는 미분 정전용량값을 기반으로 감지합니다. 이는 공통 모드 상쇄를 더 많이 활용하므로 공정 변동, 온도, 환경적 스트레스로 인한 오류가 감소합니다. KXTJ3의 감지요소는 유리 프릿을 이용해서 2번째 실리콘 덮개 웨이퍼를 소자에 부착함으로써 웨이퍼에 밀폐됩니다. 감지요소와 함께 패키지된 별도 ASIC 소자는 신호 컨디셔닝 및 디지털 통신 성능을 제공합니다.